Motor Drock Sensor 2CP3-68 1946725 fir Carter Ausgruewung

Eng Method fir en Drock Sensor ze preparéieren, charakteriséiert andeems Dir déi folgend Schrëtt besteet:

S1, eng Wafer mat enger Réckfläch an eng viischt Uewerfläch ze liwweren; Eng piezoaresistiv Sträif bilden an e staarken destopten Kontakt Regioun op der Front Uewerfläch vun der Wafer; Eng Drock déi déif Kavitéit bilden andeems se d'Réckfahrt vun der Wafer vun der Waferschued ass;

S2, Bonding eng Ënnerstëtzung Blat op der Récksäit vun der Wafer;

S3, Fabrikatiouns Lead Lächer a Metall Dréit op der viischter Säit vun der Wafer, a verbënnt de Piezoresistive Läischte fir eng Whatsstoffer ze bilden;

S4, deposéieren an eng Passivation Layer op der viischter Uewerfläch vun der Wafer ze deposéieren an ze bilden, an en Deel vun der Passivatiounschicht ze bilden fir e Metal Pad. 2. D'Fabrikatiounsmethod vum Drock Sensor no der Fuerderung 1, wouin d'S1 speziell ëmgerechent: D'S11: e Wafe mat enger Säit vun engem Drock, an eng Frontfahrt vun engem Drockmëttelen. S12: ON ONAL STLIPlantier gëtt virun der laang Héicht aus iwwerwéi gebäit, datt d'Bléiestellunge vun engem anere Energemusus ka stalt ass an Direktiv, déi staark ënner anerem aspresséieren; S33: deposéieren an eng Schutzschicht op der viischter Uewerfläch vun der Widder ze deposéieren an ze bilden; S14: etching a formen eng Drock déi déif Huelraum op der Récksäit vun der Wafer fir en Drock sensibel Film ze bilden. 3. D'Fabrikatiounsmethod vum Drock Sensor no der Fuerderung 1, wou d'Wénker so.

1962, Tennte et al. En piezororesistiven Drock Sensor mat diffuséierten Silicon Piezoresistive Sträifen a Silicon Filmstruktur fir Piogeror. Den Teacher An- 360er an den 1970er sinn d'éischt Kéier duerch den Drockvologien, Neechefanskologie, Ionàaard Technenz Technologie an Anodesch Begrëff Technenz Technologie. Spannendium ass 1980er an d'Leeschtung vun der Opulture ënner. Zur selwechter Zäit hunn d'Entwécklung an d'Applikatioun vun der neier Mikromachung Technologie gemaach de Film Dickname vun Drock richteg kontrolléiert.