Struktur vun Piezoresistive Sensor

An dësem Sensor ass de Widderstandsstreifen op der monokristallinem Silizium-Diaphragma duerch Integratiounsprozess integréiert fir e Silizium-piezoresistive Chip ze maachen, an d'Peripherie vun dësem Chip ass fest an der Schuel verpackt, an d'Elektrodenleitunge ginn eraus gefouert. Piezoresistive Drock Sensor, och bekannt als Solid-State Drock Sensor, ass anescht wéi Klebstoff Belaaschtung Jauge, déi extern Kraaft muss indirekt duerch elastesch sensibel Elementer fillen, mee direkt fillt de gemoossene Drock duerch Silicon Membran.

Eng Säit vun der Siliziummembran ass en Héichdrockhuelraum, deen mam gemoossene Drock kommunizéiert, an déi aner Säit ass e Low-Drock-Kavitéit, deen mat der Atmosphär kommunizéiert. Allgemeng ass d'Silicium-Membran als Krees mat fixer Peripherie entworf, an d'Verhältnis vum Duerchmiesser an d'Dicke ass ongeféier 20 ~ 60. Véier P Gëftstoffer Resistenzstreifen ginn lokal op der kreesfërmeger Silizium-Diaphragma diffuséiert an an eng voll Bréck verbonnen, zwee vun deenen sinn an der Kompressiounsspannungszone an déi aner zwee sinn an der Spannspannungszone, déi symmetresch sinn mat Respekt zum Zentrum vun der Membran.

Zousätzlech ginn et och Quadrat Silizium Blend a Silizium Kolonn Sensor. De Siliziumzylindresche Sensor ass och aus resistive Sträifen duerch Diffusioun an enger bestëmmter Richtung vun engem Kristallfläch vum Siliziumzylinder gemaach, an zwee Spannspannungsresistenzstreifen an zwee Kompressivstressresistivstreifen bilden eng voll Bréck.

Piezoresistive Sensor ass en Apparat gemaach duerch Diffusiounsresistenz um Substrat vum Halbleitermaterial no dem piezoresistive Effekt vum Halbleitermaterial. Säin Substrat kann direkt als Messsensor benotzt ginn, an d'Diffusiounsresistenz ass am Substrat a Form vun enger Bréck verbonnen.

Wann de Substrat duerch extern Kraaft deforméiert ass, änneren d'Resistenzwäerter an d'Bréck wäert entspriechend onbalancéiert Ausgang produzéieren. D'Substrater (oder Membranen), déi als piezoresistive Sensoren benotzt ginn, sinn haaptsächlech Siliziumwaferen a Germaniumwafers. Silicon piezoresistive Sensoren aus Siliziumwafers als sensibel Materialien hunn ëmmer méi Opmierksamkeet ugezunn, besonnesch d'Solidstate piezoresistive Sensoren fir Drock a Geschwindegkeet ze moossen sinn am meeschte benotzt.